パルスモーター駆動ステージの、高精度制御が実現

お客様の課題

スライドテーブルのステージ駆動に「サーボモーター」を使用し、ミクロン台の精度でステージを制御されていましたが、高額なサーボモーターによりコストが膨らんでしまい、お困りでした。

コスト削減のため、動力系を見直し「パルスモーター」を組み込みましたが、停止位置のフィードバックがないため、ステージの精密な位置決めができません。

「パルスモーター」の制御精度が、スライドテーブルの位置精度を左右するため、精度の高い外部入力用の位置決めセンサをお探しでした。

メトロールのご提案

パルスモーターは、駆動時に始動原点がズレてしまうため、ステージの精密な位置決めには向いていません。

メトロールの「精密位置決めスイッチ」は、接触式のメカスイッチでありながら、独自の接点構造により、0.5μm繰返し精度を発揮。

ステージ駆動原点のミクロン台の原点出しで、スライドテーブルの精密位置決めを実現します。

また、0.5μm高精度タイプでも8,040円〜と低価格、パルスモーターと合わせて採用することで、トータルコストの削減に貢献します。

担当者のコメント

今回ご紹介した「精密位置決めスイッチ」は、半導体検査テーブルの熱変位補正や、多軸ボール盤のステージ位置決めなど、XY軸の精密位置決めに多数ご採用いただいています。

ステージの位置決めでお困りでしたら、ぜひメトロールまでご相談ください。

本事例でご紹介した製品はこちら