GN系列

适用于高真空度等级的低排气接触式传感器

GN系列仅使用不排气的零件制造，可在10-5Pa的高真空环境中使用。用于真空蒸镀和溅射设备中晶片和掩膜的定位，陆续被大型半导体制造设备制造商采用。
・可使用上限温度为120度
・不使用润滑脂或润滑油。

可在真空下使用的低成本传感器

包括放大器和连接器在内，每1个真空光纤传感器和位移传感器的成本接近20万日元。
GN系列以低价格为客户降低成本。

符合各种条件的丰富的产品阵容

根据使用条件，备有直进接触型、电缆直角方向出线型、球形触头型等丰富的产品阵容。

根据使用环境变更材质

提到真空环境，不同客户的真空环境各有不同。
我们可根据客户的环境变更传感器主体和电缆的材质，进行客制化。
※图片为磷青铜规格。

防污染措施

使用与普通生产线分开设置的GN系列专用无尘室进行制造，彻底防止污染。

根据应用场景，可进行以下客制化。

・·可变更电缆长度

・根据客户的使用环境，可以单独承接触头、外壳和电缆等零件材质的变更。