为工厂自动化做贡献的机床用对刀仪及精密定位传感器的专业厂家

美得龙(上海)贸易有限公司

高真空度等级适用型传感器[GN系列]

10-5Pa
高真空度等级!

仅用低排气零件生产的高真空环境专用定位传感器。

在真空蒸镀装置、溅镀装置内的晶片、掩膜定位用途中,广泛为大型半导体生产设备制造商所采用。

机型一览

代表型号名称 动作形态 电线方向 下载
GN-PT5M3A A : NO 直型
产品目录
(PDF)

2D CAD

3D CAD
GN-PT5M3B B : NC
GN-PT5M3A-R A : NO 直角(-R)
GN-PT5M3B-R B : NC

电气规格 选购件/使用注意事项 技术指南

主要规格

接点构造 接点型
动作形态 A : NO /B:NC
动作点的重复精度 ON⇄OFF均为0.003mm(范围)常温使用时的数值
适用真空度/容许烘焙温度 10-5Pa / 120℃
预行程 无(请用信号的切换点调整传感器的安装位置)
迟滞 0
机械寿命 300万次
行程 1.5mm
接触力 0.5N
接点额定值 DC5V~DC24V 稳态电流10mA以下(冲击电流20mA以下)

应用

真空室

检测有无半导体晶片

真空制膜装置

玻璃基板的定位确认

太阳能发电(PV)真空装置

玻璃基板的定位确认

FPD真空制膜装置

玻璃基板的对准

FPD真空制膜装置

掩膜托盘的就位检测

FPD真空制膜装置

载体的起动确认

对于采用的探讨起关键作用,
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符合客户的使用用途「依据客户量身定制,提供选择」,
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