高真空度等级适用型传感器［GN系列］
10-5Pa
高真空度等级！
仅用低排气零件生产的高真空环境专用定位传感器。
在真空蒸镀装置、溅镀装置内的晶片、掩膜定位用途中，广泛为大型半导体生产设备制造商所采用。
机型一览
| 代表型号名称 | 动作形态 | 电线方向 | 下载 | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| GN-PT5M3A | A : NO | 直型 | 产品目录 （PDF） |
2D CAD |
3D CAD |
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| GN-PT5M3B | B : NC | ||||||
| GN-PT5M3A-R | A : NO | 直角(-R) | |||||
| GN-PT5M3B-R | B : NC | ||||||
主要规格
| 接点构造 | 接点型 |
|---|---|
| 动作形态 | A : NO /B：NC |
| 动作点的重复精度 | ON⇄OFF均为0.003mm（范围）常温使用时的数值 |
| 适用真空度／容许烘焙温度 | 10-5Pa ／ 120℃ |
| 预行程 | 无（请用信号的切换点调整传感器的安装位置） |
| 迟滞 | 0 |
| 机械寿命 | 300万次 |
| 行程 | 1.5mm |
| 接触力 | 0.5N |
| 接点额定值 | DC5V～DC24V 稳态电流10mA以下（冲击电流20mA以下） |
应用
真空室
检测有无半导体晶片
真空制膜装置
玻璃基板的定位确认
太阳能发电（PV）真空装置
玻璃基板的定位确认
FPD真空制膜装置
玻璃基板的对准
FPD真空制膜装置
掩膜托盘的就位检测
FPD真空制膜装置
载体的起动确认
