高真空度等级适用型传感器[GN系列]
10-5Pa
高真空度等级!

仅用低排气零件生产的高真空环境专用定位传感器。
在真空蒸镀装置、溅镀装置内的晶片、掩膜定位用途中,广泛为大型半导体生产设备制造商所采用。
机型一览
代表型号名称 | 动作形态 | 电线方向 | 下载 | ||||
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GN-PT5M3A | A : NO | 直型 | 产品目录 (PDF) |
2D CAD |
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GN-PT5M3B | B : NC | ||||||
GN-PT5M3A-R | A : NO | 直角(-R) | |||||
GN-PT5M3B-R | B : NC |
主要规格
接点构造 | 接点型 |
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动作形态 | A : NO /B:NC |
动作点的重复精度 | ON⇄OFF均为0.003mm(范围)常温使用时的数值 |
适用真空度/容许烘焙温度 | 10-5Pa / 120℃ |
预行程 | 无(请用信号的切换点调整传感器的安装位置) |
迟滞 | 0 |
机械寿命 | 300万次 |
行程 | 1.5mm |
接触力 | 0.5N |
接点额定值 | DC5V~DC24V 稳态电流10mA以下(冲击电流20mA以下) |
应用

真空室
检测有无半导体晶片

真空制膜装置
玻璃基板的定位确认

太阳能发电(PV)真空装置
玻璃基板的定位确认

FPD真空制膜装置
玻璃基板的对准

FPD真空制膜装置
掩膜托盘的就位检测

FPD真空制膜装置
载体的起动确认