客户面临的课题

他们曾在驱动滑台的载物台时使用“伺服马达”，以微米级精度控制载物台，
但由于伺服马达价格昂贵而导致成本上升，很是烦恼。

为了削减成本，他们调整动力系统，装入了“脉冲马达”
，但由于没有停止位置的反馈，因此无法进行载物台的精密定位。

由于“脉冲马达”的控制精度决定着滑台的位置精度，因此他们寻找高精度的外部输入用定位传感器。

美德龍的方案

由于“脉冲马达”在驱动时启动原点会发生偏移，因此不适用于载物台的精密定位。

美德龙的“精密定位传感器”虽然是接触式机械传感器，但由于独特的构造，
可发挥0.5µm的重复精度。

以微米级单位寻找载物台驱动原点，实现滑台的精密定位。

此外，通过将廉价的脉冲马达与“精密定位传感器”组合使用，可为削减整体成本做贡献。

负责人评语

本次介绍的“精密定位传感器”，还被广泛用于补偿半导体检测工作台的热位移、
多轴镗床的载物台定位等XY轴的精密定位。

如果您还在为载物台的定位而烦恼，请一定与我们联系。

市场部
负责人

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