以非接触方式稳定测量电池薄膜的微米级厚度

蓄电池行业
制造为电动汽车用蓄电池的大型半导体厂家。
某客户质量管理部门的负责人就有关二次电池用薄膜的
“厚度测量”向我们进行了咨询。
客户面临的课题
他们在测量厚度仅50μm的电池薄膜厚度时,曾使用“千分尺”手动进行测量,
但不同作业人员的测量压力不同,导致测量结果出现偏差。
虽然尝试过使用光学式位移传感器来测量薄膜厚度的方法,但由于薄膜表面有光泽,
无法获得稳定的测量结果。
同时,由于是手动测量,测量一片需要10分钟以上,生产效率极低。

课题的要点
- 50µm的电池胶片厚度,需要稳定的检测
- 要缩短一张的测定时间
美德龍的方案
一般情况下,使用“千分尺”进行测量会因作业人员的测量压力不同而产生个人差异,
不适合精度要求高的微米级电池薄膜厚度的测量。
美德龙的“精密气压式传感器”装有独创的气压回路,是非接触式气压式传感器。
通过伺服电机读取高精度ON/OFF位置信号,能以±0.5μm的重复精度稳定测量50μm薄膜的厚度。
与作业人员的手动作业相比,自动化测量可以大幅度缩短约90%的测量时间。

采用结果
- 以非接触方式稳定检测50μm的电池薄膜厚度
- 每片薄膜的测量时间大幅缩短90%
负责人评语
在半导体行业,除了上述案例,本产品还被用于“晶片厚度测量”、“铸锭外径测量”等
使用光传感器及激光传感器无法稳定测量的微米级测量用途。
在有些地区,本公司营业员还可直接上门进行实机演示。
请随时联系。

负责人