解决高真空环境下光传感器的误检测

半导体行业

设计真空蒸镀装置（用于制造太阳能面板用的半导体）的半导体生产装置厂家。
基板传感部设计负责人向我们咨询了有关真空环境下玻璃基板的“定位”。

客户面临的课题

他们使用“光电传感器”检测真空室内有无玻璃基板，但经常会因蒸镀时观察口的雾气而导致误检测，为此很发愁。
另外，观察口本身的加工费用昂贵，成本也是个问题。

他们也和大型传感器厂家商量，利用高性能光传感器进行了试用试验，但仍然无法防止误检测。

后来他们参加以真空技术为主题的专业展览会“真空展”时，了解到了本公司的传感器并进行了咨询。

课题的要点

需要在真空环境下进行玻璃基板的定位
光传感器因蒸镀时观察口的雾气而导致误检测
观察口的加工费用昂贵

美德龍的方案

传统的“光电传感器”通过照射光的反射来检测工件，易受雾气、水滴或漫反射等外部环境的影响，经常会出现误检测。

几乎所有的工程师都认为“在真空环境下不能使用传感器……”

美德龍的“高真空度等级适用型传感器”不使用电子基板，是仅用低排气零件制成的机械式精密定位传感器。
适用于10^-5Pa以下的高真空度等级，即使在高真空环境下，也能可靠地检测玻璃基板。

由于传感器的接触力为0.5N以下，并且前端可定制为特殊树脂，因此无需担心会损伤容易受伤的玻璃基板。

采用结果

在10^-5Pa的高真空环境下实现晶片的定位
直接接触晶片进行检测，不会出现误检测
无需观察口，大幅降低了加工费用

负责人评语

对于“光电传感器”或“光纤传感器”等光传感器，由于肉眼看不到信号点，因此也有仅安装调整就需要2天以上时间的事例。
美德龍的“精密定位传感器”采用接触式，肉眼可看到信号点，因此也可在CAD设计图纸上指定安装位置。

在半导体行业，该传感器广泛应用于“溅射装置”、“有机EL蒸镀装置”、“蚀刻器”、“晶片搬运装置”等真空装置内的定位。

如果您还在为真空环境下的定位、有无检测而发愁，请一定与我们联系。

本公司备有评估样品，请随时联系。