客户面临的课题

他们在半导体的检查工序中使用XY工作带，大随着时间的经过，因自发热而导致XZ轴发生微米级偏离，不能进行高精的检测，为此很发愁。

他们也曾探讨过利用“光微传感器”进行XY轴的原点定位，但由于重复精度低，为10μm，因此无法进行微米级的补偿。

后来他们用[热位移]、[补偿]等关键字进行搜索，找到了本公司的产品，并进行了咨询。

美德龍的方案

传统的“光微传感器”或“光电传感器”等光传感器适合于检测是否存在物体，但不适用于高精度的原点定位。

另外，与检查工作台相同，传感器本身也会因放大器部分的自发热而产生温度漂移，无法达到产品目录规格中的精度。

美德龍的“精密定位传感器”采用不使用放大器的精密机械式，因此不会产生温度漂移。即使使用300万次，也可稳定保持0.5μm的重复精度。

直接将传感器抵在工作台的X轴、Y轴端面，并以ON/OFF信号的切换点为原点，可对工作台的热位移进行微米级补偿。

负责人评语

无论是使用伺服马达或还是使用廉价脉冲马达的XY工作台，在驱动时的原点定位中使用“精密定位传感器”，可实现高精度的工作台驱动。

很多大型半导体生产装置厂家都以此大幅降低了成本。
欢迎随时咨询。

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负责人

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